Dur cyflymder uchel wedi'i blatio ag arian gwactod fel deunydd sylfaen

Dur cyflymder uchel wedi'i blatio ag arian gwactod fel deunydd sylfaen

Dewisir dur cyflym M2 fel y deunydd sylfaen, maint y sampl yw 6mm × 6mm × 10mm, ac mae sawl tap o'r un deunydd â'r fanyleb Φ10mm yn cael eu paratoi ar gyfer y prawf torri. Y deunyddiau targed sputtering yw un pâr o darged metel titaniwm (purdeb 99.99 y cant) a tharged graffit (purdeb 99.99 y cant), ac mae'r ddau fath o darged (4 targed) wedi'u trefnu bob yn ail ac yn gyfartal ar wal fewnol y siambr cotio. Cyn gorchuddio, roedd wyneb y sampl yn ddaear i gael gwared ar grafiadau macrosgopig sy'n weladwy i'r llygad noeth, a'u sgleinio i wyneb drych. Yna, cafodd y tap a'r sampl eu sgwrio â thywod i gael gwared ar halogiad yr haen arwynebol. Ar ôl glanhau ultrasonic, cafodd ei sychu a'i osod yn y ffwrnais. Gwacáu i 9.0 ×{10-3Pa, cynheswch y darn gwaith am 60 munud, ac yna defnyddiwch effaith peledu ïon argon i ysgythru a glanhau'r swbstrad o dan ragfarn negyddol am 30 munud. Er mwyn gwella'r cryfder bondio rhwng y ffilm denau a'r swbstrad, mae haen drawsnewid metel Ti yn cael ei adneuo ar y swbstrad gan y bloc metel Ti yn y crucible anweddiad. Yn olaf, o dan gyflwr pwysau o 4.5 ×{10-1Pa, paratowyd ffilmiau tenau TiCN trwy gyd-sputtering targed graffit a tharged titaniwm am 3 awr. Oerwch am 1 awr ar ôl gorchuddio, a thynnwch y sampl.

Awyrgylch cymysg o nitrogen ac argon ar gyfer platio arian gwactod

Yn lle CH4 neu C2H2, paratowyd ffilmiau TiCN trwy gyd-sputtering targedau graffit a thargedau titaniwm mewn awyrgylch cymysg o nitrogen ac argon, a dadansoddwyd cyfansoddiad, strwythur, caledwch a chryfder bondio'r ffilmiau TiCN a gafwyd o dan y dull paratoi hwn a dadansoddi. Ar yr un pryd, ymchwiliwyd i gymhwysiad ymarferol ffilmiau TiCN a adneuwyd ar wyneb tapiau dur cyflym trwy'r dull hwn.

www.superbheater.com