Cymhwyso Gwresogyddion Cetris mewn Offer Prosesu Gwactod Lled-ddargludyddion

Mae gan y busnes lled-ddargludyddion safonau uchel iawn o ran pa mor lân a manwl gywir yw'r prosesu, ac mae prosesu gwactod yn rhan bwysig o wneud lled-ddargludyddion (er enghraifft, anelio wafferi, sputtering, ysgythru a phecynnu). Y system wresogi yw'r rhan bwysicaf o offer prosesu gwactod lled-ddargludyddion oherwydd ei fod yn pennu pa mor dda y caiff y wafferi lled-ddargludyddion eu prosesu. Gwresogyddion cetris bellach yw'r elfen wresogi fwyaf poblogaidd ar gyfer y math hwn o offer oherwydd eu bod yn cynhesu'n gyflym, yn gweithio'n gyson, ac yn fach. Rhaid i wresogyddion cetris a ddefnyddir mewn offer prosesu gwactod lled-ddargludyddion nid yn unig ddiwallu anghenion sylfaenol gwresogi gwactod, ond rhaid iddynt hefyd allu trin anghenion y diwydiant lled-ddargludyddion am gywirdeb, glendid a sefydlogrwydd uchel.

Mae offer prosesu gwactod lled-ddargludyddion, fel ffwrneisi anelio gwactod, offer chwistrellu, ac offer ysgythru, fel arfer yn gweithio mewn amgylcheddau gwactod uchel (uwch na 10 ^-4 Pa) a thymheredd uchel (300-1200 gradd). Rhaid i'r system wresogi gadw'r tymheredd o fewn ± 0.5 gradd. Mae hyn oherwydd bod perfformiad trydanol wafferi lled-ddargludyddion yn arbennig o sensitif i dymheredd. Gall hyd yn oed ychydig o newidiadau mewn tymheredd achosi anawsterau fel crynodiad dopio anwastad, diffygion grisial, a materion eraill sy'n dylanwadu ar ansawdd a chynnyrch sglodion lled-ddargludyddion. Gall gwresogyddion cetris gyrraedd y safonau uchel hyn oherwydd eu bod yn dda iawn am reoli tymheredd a gwresogi yn gyfartal.


Gwresogyddion cetris yw'r brif ran wresogi o ffwrneisi anelio gwactod ar gyfer wafferi lled-ddargludyddion. Er mwyn cael gwared ar amherffeithrwydd grisial a gwneud i'r wafer weithio'n well yn drydanol, mae'r weithdrefn anelio gwactod yn mynnu bod y wafer lled-ddargludyddion yn cael ei gynhesu i dymheredd penodol (yn nodweddiadol 600-1000 gradd) mewn amgylchedd gwactod uchel a'i gadw yno am gyfnod penodol o amser. Yn yr achos hwn, mae'r gwresogyddion cetris fel arfer yn wresogyddion cetris gwain Inconel gyda llenwad inswleiddio MgO sy'n bur iawn ac yn drwchus iawn. Mae'r wain Inconel yn sefydlog iawn ar dymheredd uchel ac yn gallu gwrthsefyll cyrydiad, sy'n golygu na fydd yn ocsideiddio nac yn mynd yn fudr mewn amodau gwactod tymheredd uchel. Mae'r llenwad MgO dwysedd uchel yn sicrhau bod gwres yn cael ei drosglwyddo'n gyfartal a bod yr inswleiddiad yn gweithio'n dda, fel nad yw'r waffer yn mynd yn rhy boeth mewn un man.

Hefyd, mae'r ffordd y mae gwresogyddion cetris yn cael eu gosod mewn ffwrneisi anelio gwactod yn fanwl iawn. Yn seiliedig ar brofiad, mae gwresogyddion cetris yn cael eu gosod mewn ffordd dynn a gwastad ar wal y ffwrnais, y gwaelod a'r brig. Mae gan bob gwresogydd cetris ei synhwyrydd tymheredd ei hun. Mae'r system rheoli tymheredd yn defnyddio algorithm rheoli tymheredd aml-barth i newid pŵer pob gwresogydd cetris mewn amser real. Mae hyn yn cadw'r tymheredd yn y siambr ffwrnais o fewn ±0.5 gradd. Hefyd, mae bwlch o 5 i 10 mm rhwng pob gwresogydd cetris i gadw'r ymbelydredd gwres rhag ymyrryd â'i gilydd ac i sicrhau bod y gwres wedi'i ddosbarthu'n gyfartal. Mae hyd a diamedr y gwresogyddion cetris wedi'u teilwra i gyd-fynd â maint y siambr ffwrnais a'r wafer lled-ddargludyddion. Ar gyfer -offer prosesu wafferi ar raddfa fawr fel ffwrneisi wafferi 12 modfedd, defnyddir gwresogyddion cetris hirach a mwy trwchus i sicrhau bod digon o bŵer gwresogi a hyd yn oed gwresogi.

Defnyddir gwresogyddion cetris mewn peiriannau sputtering lled-ddargludyddion i gynhesu'r targed a'r swbstrad. Er mwyn gwella ymlyniad y ffilm sputtered ac unffurfiaeth trwch y ffilm, rhaid gwresogi'r targed a'r swbstrad i dymheredd penodol (yn nodweddiadol rhwng 300 a 600 gradd) mewn amgylchedd gwactod uchel. Mae'r gwresogyddion cetris yn yr achos hwn fel arfer yn wresogyddion cetris gwain dur di-staen (316L) gyda dwysedd pŵer o 5-7 W / cm². Mae'r wain dur di-staen 316L yn gallu gwrthsefyll cyrydiad a gall weithio gydag amgylchedd nwy anadweithiol yr offer sputtering, gan gynnwys argon. Mae'r dwysedd pŵer rhesymol yn sicrhau bod y targed a'r swbstrad yn cynhesu'n gyflym heb fynd yn rhy boeth mewn unrhyw un man.

Mae pobl yn aml yn rhoi'r gwresogyddion cetris mewn peiriannau sputtering yn y deiliad targed a deiliad y swbstrad, lle maent yn agos iawn at y targed a'r swbstrad i wneud trosglwyddo gwres yn fwy effeithlon. Mae inswleiddwyr cerameg sy'n gwrthsefyll tymheredd uchel a chylchoedd selio metel yn selio'r plwm-allan rhan o'r gwresogydd cetris. Mae hyn yn cadw gwactod y siambr sputtering yn dynn ac yn atal nwy anadweithiol rhag gollwng. Hefyd, mae gan y gwresogyddion cetris gydrannau sy'n amddiffyn rhag gorboethi. Os yw'r tymheredd yn mynd y tu hwnt i'r gwerth a bennwyd ymlaen llaw, bydd y cyflenwad pŵer yn cael ei ddiffodd mewn pryd i gadw'r offer targed, swbstrad a sbuttering.

Rhaid i'r gwresogyddion cetris a ddefnyddir mewn offer prosesu gwactod lled-ddargludyddion gyd-fynd â safonau glendid llym y diwydiant lled-ddargludyddion. Er mwyn cadw llwch, staeniau olew, a llygryddion eraill rhag gollwng a halogi'r wafer lled-ddargludyddion, rhaid sgleinio a glanhau wyneb y wain. Er mwyn lleihau anweddolrwydd a llygredd mewn amodau gwactod tymheredd uchel, rhaid i'r llenwad inswleiddio MgO fod yn bur iawn a pheidio â chynnwys unrhyw halogion peryglus, metelau trwm o'r fath. Hefyd, rhaid i'r gwresogyddion cetris basio profion glendid difrifol cyn iddynt adael y ffatri i sicrhau eu bod yn bodloni safonau'r diwydiant lled-ddargludyddion.

Rhaid i'r gwresogydd cetris hefyd fod yn sefydlog dros amser. Oherwydd bod offer cynhyrchu lled-ddargludyddion yn rhedeg drwy'r amser (24 awr y dydd, 7 diwrnod yr wythnos), mae angen i'r gwresogydd cetris bara am amser hir (mwy na 8000 awr) a gweithio'n gyson. Mae gwresogyddion cetris a ddefnyddir mewn offer prosesu gwactod lled-ddargludyddion fel arfer wedi'u hadeiladu o ddeunyddiau o ansawdd uchel ac yn mynd trwy lawer o waith profi a dylunio i sicrhau y byddant yn gweithio'n dda am amser hir heb fod angen eu newid yn aml. Gall glanhau wyneb y wain yn rheolaidd a monitro effeithiolrwydd inswleiddio'r gwresogyddion cetris eu helpu i bara'n hirach a chadw'r cynhyrchiad lled-ddargludyddion i fynd.

Yn fyr, mae gwresogyddion cetris yn rhan bwysig o offer prosesu gwactod lled-ddargludyddion, ac mae eu perfformiad yn cael effaith uniongyrchol ar ansawdd a chynnyrch wafferi lled-ddargludyddion. Mae gwresogyddion cetris yn berffaith ar gyfer y sector lled-ddargludyddion oherwydd gallant reoli tymheredd yn fanwl iawn, gwresogi'n gyfartal, gweithio'n ddibynadwy, ac aros yn lân iawn. Mae angen gwahanol fathau o wresogyddion cetris ar wahanol fathau o offer prosesu gwactod lled-ddargludyddion, fel ffwrneisi anelio ac offer sputtering. Gall addasu proffesiynol a chymorth technegol helpu gweithgynhyrchwyr lled-ddargludyddion i ddewis y gwresogyddion cetris gorau, cadw'r offer i redeg yn esmwyth, a gwneud cynhyrchion lled-ddargludyddion yn well.