Strwythur a Phriodweddau Ffilmiau Tenau TiCN Wedi'u Paratoi gan Sputtering Arian Gwactod

Strwythur a Phriodweddau Ffilmiau Tenau TiCN Wedi'u Paratoi gan Sputtering Arian Gwactod

Paratowyd ffilmiau tenau TiCN ar swbstradau dur cyflym M2 trwy gyd-sputtering targedau graffit a thargedau titaniwm o dan awyrgylch cymysg o nitrogen ac argon. Canfuwyd caledwch ffilm denau TiCN, a defnyddiwyd y dull mewnoliad a'r dull crafu i werthuso cyflwr bondio'r ffilm denau a'r swbstrad. Cynhaliwyd prawf torri tap ffilm tenau TiCN i ymchwilio i wydnwch y ffilm denau TiCN. Mae'r canlyniadau'n dangos bod yr atomau C yn y ffilm TiCN yn bodoli ar ffurf hydoddiant solet yn y dellt TiN, mae cyfeiriadedd y ffilm TiCN ar yr awyren grisial (111) yn sylweddol wannach nag un y ffilm TiN, ac mae'r toriad o mae'r ffilm TiCN yn strwythur bloc hir, ac mae ei ddimensiwn ochrol yn fwy na'r ffilm TiN. Mae'r ffilm yn fach, ac mae wyneb y ffilm TiCN yn anwastad. Mae'r grym bondio rhwng y ffilm TiCN a'r swbstrad tua 40N. Mae atomau C yn y ffilm TiCN yn cael effaith cryfhau datrysiad solet a chryfhau mireinio grawn. Cynyddir caledwch y ffilm TiCN o 20.3 i 33.4GPa o'r ffilm TiN. Mae gan ffilm TiCN briodweddau gwrth-ffrithiant da, ac mae bywyd gwasanaeth tapiau ffilm TiCN wrth dapio deunydd 40Cr yn sylweddol hirach na thapiau ffilm TiN a thapiau heb eu gorchuddio.

Paratoi Ffilmiau Tenau TiCN trwy wactod Arian-blatio Ffynhonnell C Solid

Ar hyn o bryd, mae'r rhan fwyaf o'r dulliau PVD yn defnyddio CH4 neu C2H2 fel ffynhonnell C i baratoi ffilmiau tenau TiCN. Yn ystod y broses baratoi, gellir cael ffilmiau tenau TiCN gyda chymarebau cynnwys elfennau gwahanol a gwahanol briodweddau trwy addasu'r gymhareb llif nwy. Fodd bynnag, y broblem gyda'r dull hwn yw y bydd y ffynhonnell nwy carbon gormodol yn achosi llygredd difrifol i strwythur mewnol corff ffwrnais y peiriant cotio, a bydd yr haen rhydd carbon gweddilliol ar wal y ffwrnais yn cael ei ryddhau yn ystod y broses cotio nesaf, a fydd yn ymyrryd ag awyrgylch dyddodiad y ffilm. Cynhyrchu parhaus yn anffafriol, ac yn aml yn arwain at berfformiad ansefydlog o workpieces ffilm tenau mewn cynhyrchu diwydiannol.

www.superbheater.com