Miniaturization synhwyrydd a thechnoleg sglodion

Micro-electromechanical system (MEMS) yw a micro-system neu dyfais hynny integreiddio micro-fecanweithiau, micro-actuators, rheoli cylchedau, signal prosesu, cyfathrebu, rhyngwynebau, pŵer cyflenwadau, ac ati. Mae'n a technoleg ar gyfer dylunio, prosesu, gweithgynhyrchu, mesur a rheoli micro/nano deunyddiau.

Mae technoleg MEMS yn cynnwys: technoleg micromachining silicon, ysgythriad ïon adweithiol dwfn, technoleg LIGA, technoleg cydosod moleciwlaidd, micromachining swmp, micromachining arwyneb, micromachining laser a thechnoleg micro-becynnu.

Technoleg Micromachining Silicon yw technoleg brif ffrwd MEMS. Mae'n dechnoleg prosesu tri dimensiwn manwl gywir. Mae'n dechnoleg ar gyfer datblygu synwyryddion, micro-actuators, micro-actuators, a systemau micro-fecanyddol. Fe'i defnyddiwyd yn llwyddiannus i gynhyrchu amryw o ficro-synhwyrwyr a araeau elfen sensitif aml-swyddogaethol. Megis synwyryddion capacitive micro-silicon, synwyryddion llif màs micro-silicon, synwyryddion deinamig a micro-synhwyrwyr ar gyfer awyrofod, pwysedd modurol a synwyryddion cyflymu, synwyryddion micro-gemegol amddiffyn yr amgylchedd, ac ati.

Technoleg integreiddio araeau synhwyrydd a chyfansoddion paramedr aml-synhwyro

Mae integreiddio yn cyfeirio at integreiddio swyddogaethau synhwyro lluosog â phrosesu data, storio, cyfathrebu dwyffordd, ac ati megis pwysau, pwysau statig, synhwyrydd tri newid tymheredd; pwysedd aer, grym gwynt, tymheredd, lleithder synhwyrydd pedwar newidiol; Mae synhwyrydd pwysau straen cyfansawdd micro silicon a synhwyrydd arae, ac ati, i gyd yn defnyddio technoleg integreiddio. Proses integreiddio a phroses weithgynhyrchu integredig synhwyrydd cyfansawdd aml-newidiol, megis pwysau, gwasgedd statig, synhwyrydd tri-newidyn tymheredd, pwysedd aer, grym gwynt, tymheredd, synhwyrydd pedwar amrywiol lleithder, synhwyrydd pwysau straen cyfansawdd micro silicon, synhwyrydd arae arae.

Mae dau fath o integreiddio synhwyrydd: un yw adeiladu modiwlau synhwyrydd lluosog ar sglodyn trwy dechnoleg micro-beiriannu i ffurfio synhwyrydd llinellol (fel synhwyrydd delwedd CCD); Y llall yw gwneud cydrannau sensitif gyda gwahanol swyddogaethau ar yr un sglodyn silicon i wneud synhwyrydd amlswyddogaethol integredig gydag integreiddio uchel, maint bach, ac iawndal a chywiriad hawdd.