Defnyddir sbuttering adweithiol ar gyfer platio gwactod tiwbiau gwresogi trydan yn eang i adneuo ffilmiau cyfansawdd

Defnyddir sbuttering adweithiol ar gyfer platio gwactod tiwbiau gwresogi trydan yn eang i adneuo ffilmiau cyfansawdd

 

Mae datblygiad peirianneg wyneb modern yn gofyn yn gynyddol am ddefnyddio ffilmiau cyfansawdd amrywiol, ac mae technoleg sputtering magnetron adweithiol yn un o'r prif ffyrdd o adneuo ffilmiau cyfansawdd. I adneuo ffilmiau cyfansawdd gyda chydrannau lluosog, gellir defnyddio'r deunydd targed a wneir o ddeunyddiau cyfansawdd ar gyfer dyddodiad sputtering, neu wrth sputtering targedau metel neu aloi pur, gellir cyflwyno nwy adweithiol penodol, megis ocsigen a nitrogen, i adweithio ac adneuo cyfansawdd ffilmiau. Gelwir hyn yn sputtering adweithiol. Fel arfer mae targedau metel pur a nwyon adweithiol yn hawdd i gael purdeb uchel, felly defnyddir sputtering adweithiol yn eang i adneuo ffilmiau cyfansawdd.

Manteision gwactod electroplating tiwb gwresogi trydan cotio ïon

 

Mantais

 

cyfradd dyddodiad uchel

 

ffilm drwchus

 

diffreithrwydd da, gallu cryf i orchuddio arwynebau cymhleth

 

Manteision ac anfanteision sputtering adweithiol ar gyfer gwactod electroplating tiwbiau gwresogi trydan

 

(1) Ymateb Mae'r deunydd targed (targed un elfen neu darged aml-elfen) a nwy adweithiol (ocsigen, nitrogen, hydrocarbon, ac ati) a ddefnyddir mewn sputtering magnetron o burdeb uchel, sy'n ffafriol i baratoi purdeb uchel. ffilmiau cyfansawdd.

 

(2) Trwy addasu paramedrau'r broses mewn sputtering magnetron adweithiol, gellir paratoi ffilmiau cyfansawdd stoichiometrig neu an-stoichiometrig, a gellir rheoleiddio priodweddau'r ffilm trwy addasu cyfansoddiad y ffilm.

 

(3) Yn ystod y broses dyddodi magnetron adweithiol sputtering, mae tymheredd y swbstrad yn gymharol fach, ac fel arfer nid yw'n ofynnol i'r swbstrad gael ei gynhesu ar dymheredd uchel yn ystod y broses ffurfio ffilm, felly mae llai o gyfyngiadau ar y deunydd swbstrad.

 

(4) Mae sputtering magnetron adweithiol yn addas ar gyfer paratoi ffilmiau tenau unffurf ardal fawr, a gall wireddu cynhyrchu diwydiannol allbwn blynyddol un peiriant o filiynau o fetrau sgwâr o cotio.

 

diffyg

 

Yn dueddol o dargedu gwenwyno, diflaniad anod a phroblemau eraill

www.superbheater.com