Priodweddau Electromagnetig a Gwella Ffilmiau Tenau Optegol ar gyfer Dyddodiad â Chymorth Pelydr Ion Arian Gwactod

Priodweddau Electromagnetig a Gwella Ffilmiau Tenau Optegol ar gyfer Dyddodiad â Chymorth Pelydr Ion Arian Gwactod

Gall dyddodiad â chymorth pelydr ïon newid priodweddau electromagnetig ffilmiau a gwella perfformiad ffilmiau tenau optegol.

Oherwydd y gall dyddodiad â chymorth ïon addasu paramedrau perthnasol dyddodiad atomig a mewnblannu ïon yn fanwl gywir ac yn annibynnol, a gall gynhyrchu haenau o sawl micron yn barhaus â chyfansoddiad cyson ar egni peledu isel, gellir tyfu haenau amrywiol ar dymheredd ystafell. Ffilm hadau i osgoi effeithiau andwyol ar ddeunyddiau neu rannau manwl wrth eu prosesu ar dymheredd uchel.

Ymwrthedd cyrydiad ac ymwrthedd ocsideiddio dyddodiad trawst ïon arian gwactod gyda chymorth

Mae dyddodiad â chymorth pelydr ïon yn gwella ymwrthedd cyrydiad ac ocsidiad y ffilmiau. Oherwydd yr haen ffilm drwchus a adneuwyd gan ddyddodiad â chymorth trawst ïon, mae gwella strwythur rhyngwyneb sylfaen y ffilm neu ddiflaniad y ffiniau grawn rhwng y gronynnau oherwydd ffurfio cyflwr amorffaidd yn fuddiol: ymwrthedd cyrydiad cryf y deunydd a gwrthwynebiad i ocsidiad tymheredd uchel.

Mae dyddodiad platio arian gwactod gyda chymorth ïon yn newid priodweddau straen ffilmiau

Gall dyddodiad â chymorth pelydr ïon newid priodweddau straen y ffilm a newidiadau yn ei strwythur crisialog. Er enghraifft, pan baratowyd ffilm Cr gyda 11.5keV Xe plus neu Ar plus beledu wyneb y swbstrad, canfuwyd bod addasu paramedrau megis tymheredd y swbstrad, egni'r ïonau peledu, a chymhareb cyrraedd ïonau i atomau newid y straen o straen tynnol i straen cywasgol. Mae yna hefyd newidiadau i strwythur grisial y ffilm. Er enghraifft, ar gymhareb cyrraedd ïon-i-atom penodol, mae gan ddyddodiad â chymorth pelydr ïon well cyfeiriadedd na ffilmiau a adneuwyd ag anweddiad thermol.

Gwell priodweddau mecanyddol ffilmiau trwy ddyddodiad trawst ïon arian gwactod

Gall dyddodiad â chymorth pelydr ïon wella priodweddau mecanyddol y ffilm, ymestyn y bywyd blinder, ac mae'n addas iawn ar gyfer paratoi haenau ocsidau, carbidau, BN ciwbig, TiB, a diemwnt. Er enghraifft, pan dyfir ffilm SiN 200nm ar ddur sy'n gwrthsefyll gwres 1Cr18Ni9Ti gan dechnoleg dyddodiad â chymorth trawst ïon, nid yn unig y gall atal cychwyn craciau blinder ar wyneb y deunydd, ond hefyd yn lleihau'n sylweddol gyfradd trylediad craciau blinder, sy'n cael effaith dda ar ymestyn ei oes.

www.superbheater.com