Dyddodiad o ffilmiau tenau ar swbstradau drwy sputtering dull o coater gwactod

Dyddodiad o ffilmiau tenau ar swbstradau drwy sputtering dull o coater gwactod

Mae sbuttering yn ffenomen lle mae gronynnau wedi'u gwefru (ïonau positif o nwy anadweithiol fel arfer) yn cael eu defnyddio i beledu arwyneb solid (y cyfeirir ato o hyn ymlaen fel y targed), a thrwy hynny achosi i atomau (neu foleciwlau) ar wyneb y targed ddianc rhag mae'n. Darganfuwyd y ffenomen hon gan Grove ym 1842 wrth astudio'n arbrofol broblem cyrydiad cathodig, pan ymfudodd y deunydd catod i wal y tiwb gwactod. Defnyddiodd y coater gwactod y dull sputtering hwn i adneuo ffilmiau tenau ar y swbstrad ei gyflwyno ym 1877.

Dosbarthiad a chwmpas cymhwyso peiriant cotio gwactod

Fel arfer y dull degassing workpiece a ddefnyddiwn yw pobi, ac mae'r nwy a lleithder yn y workpiece yn cael eu gollwng gan wresogi. Cyn gorchuddio, caiff y darn gwaith ei gynhesu wrth bwmpio. Ynghyd â'r nwy yn y siambr gwactod, caiff ei bwmpio allan gan y pwmp gwactod.

Cymerir gwahanol fesurau degassing ar gyfer gwahanol workpieces i reoli'n effeithiol allyriadau nwy a lleithder y tu mewn i'r workpiece, a gwella sefydlogrwydd ac unffurfiaeth y cotio. Dosbarthiad a chwmpas cymhwyso peiriant cotio gwactod Mae peiriant cotio gwactod yn cyfeirio'n bennaf at fath o cotio y mae angen ei wneud o dan wactod uchel, gan gynnwys llawer o fathau, gan gynnwys anweddiad ïon gwactod, sputtering magnetron, epitaxy trawst moleciwlaidd MBE, dyddodiad sputtering laser PLD A chymaint o fathau.

Mae tebygolrwydd peiriant cotio gwactod yn dibynnu ar briodweddau ffisegol y darn gwaith ei hun

Mae gan rai darnau gwaith lawer o nwy, lleithder, ac ati ynddynt eu hunain. Bydd y sylweddau hyn yn cael eu rhyddhau i'r siambr gwactod pan fydd yr offer yn cael ei gynhesu, gan leihau'r radd gwactod. Yn fwy na hynny, mae gan rai nwyon gydrannau gwenwynig, sy'n niweidio'r siambr gwactod yn uniongyrchol. Mae'r strwythur mecanyddol mewnol yn achosi i'r offer beidio â gweithio'n iawn. Yn ogystal, yn ystod y broses cotio, oherwydd gwresogi ac ehangu'r nwy yn y darn gwaith, mae'n hawdd cracio'r ffilm gorchuddio. Wrth gwrs, mae'r tebygolrwydd y sefyllfa hon yn dibynnu ar briodweddau ffisegol y workpiece ei hun, megis plastigau sy'n hawdd i ehangu, mae'r tebygolrwydd yn gymharol uchel. Ar gyfer deunyddiau caled fel metel, mae'r tebygolrwydd yn gymharol isel, ond ni ellir ei anwybyddu, felly mae degassing y workpiece yn angenrheidiol iawn.

Y cyflwr gwactod yw'r amgylchedd sy'n cefnogi gweithrediad y peiriant cotio gwactod, yn enwedig yr offer sydd angen lefel uchel o wactod. Fel arfer mae angen inni gyflawni lefel uchel o wactod. Mae rôl y system echdynnu aer yn anhepgor, ond yn ychwanegol at y system echdynnu aer, yn yr offer cotio gwactod Yn y broses o weithredu, pwynt arall yw degassing y workpiece.

www.superbheater.com